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热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

闫桂沈 李贺军 郝志彪

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热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

闫桂沈, 李贺军, 郝志彪

Yan Gui-Shen, Li He-Jun, Hao Zhi-Biao
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-16
  • 修回日期:  2201-08-05
  • 刊出日期:  2002-01-05

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