搜索

x
中国物理学会期刊
高级检索

有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究

物理学报, 2002, 51(2): 351-354.
DOI: 10.7498/aps.51.351
CSTR: 32037.14.aps.51.351

Acta Phys. Sin., 2002, 51(2): 351-354.
DOI: 10.7498/aps.51.351
CSTR: 32037.14.aps.51.351
PDF
导出引用

  • 摘要

    常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.性能良好的薄膜电阻率为6.5×10-3Ω·cm,载流子浓度为1.2×1020cm-3,霍耳迁移率是9.7cm2·V-1·s-1.薄膜在可见光区的平均透过率达到了85%.

     

    Abstract

      Keywords:
    •  / 
    •  / 
    •  

      参考文献

    目录

    /

    返回文章
    返回