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射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性

郑代顺 谢天 白建民 魏福林 杨正

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射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性

郑代顺, 谢天, 白建民, 魏福林, 杨正

Zheng Dai-Shun, Xie Tian, Bai Jian-Min, Wei Fu-Lin, Yang Zheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-07-11
  • 修回日期:  2001-09-23
  • 刊出日期:  2002-02-05

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