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ECR-CVD制备的非晶SiOxNy薄膜的光致蓝光发射

许圣华 辛 煜 宁兆元 程珊华 黄 松 陆新华 项苏留 陈 军

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ECR-CVD制备的非晶SiOxNy薄膜的光致蓝光发射

许圣华, 辛 煜, 宁兆元, 程珊华, 黄 松, 陆新华, 项苏留, 陈 军

Blue photoluminescence of aSiOxNy films prepared by ECR-CVD

Xu Sheng-Hua, Xin Yu, Ning Zhao-Yuan, Cheng Shan-Hua, Huang Song, Lu Xin-Hua, Xiang Su-Liu, Chen Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-07-14
  • 修回日期:  2002-10-14
  • 刊出日期:  2003-05-20

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