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脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析

杨武保 范松华 刘赤子 张谷令 王久丽 杨思泽

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脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析

杨武保, 范松华, 刘赤子, 张谷令, 王久丽, 杨思泽

Investigation of diamond-like-carbon films deposited on glass substrate by using a pulsed high energy density plasma gun

Yang Wu-Bao, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-02-06
  • 修回日期:  2002-03-11
  • 刊出日期:  2005-04-03

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