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氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

罗 志 林璇英 林舜辉 余楚迎 林揆训 余云鹏 谭伟锋

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氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

罗 志, 林璇英, 林舜辉, 余楚迎, 林揆训, 余云鹏, 谭伟锋

Infrared analysis on hydrogen content and Si-H bonding configurations of hydrogenated amorphous silicon films

Luo Zhi, Lin Xuan-Ying, Lin Shun-Hui, Yu Chu-Ying, Lin Kui-Xun, Yu Yun-Peng, Tan Wei-Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-02-20
  • 修回日期:  2002-05-10
  • 刊出日期:  2005-04-03

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