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高温退火对非晶CNx薄膜场发射特性的影响

李俊杰 郑伟涛 卞海蛟 吕宪义 姜志刚 白亦真 金曾孙 赵永年

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高温退火对非晶CNx薄膜场发射特性的影响

李俊杰, 郑伟涛, 卞海蛟, 吕宪义, 姜志刚, 白亦真, 金曾孙, 赵永年

The effect of annealing on the field emission properties of amorphous CNx films

Li Jun-Jie, Zheng Wei-Tao, Bian Hai-Jiao, Lü Xian-Yi, Jiang Zhi-Gang, Bai Yi-Zhen, Jin Zeng-Sun, Zhao Yong-Nian
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-09-15
  • 修回日期:  2002-11-26
  • 刊出日期:  2003-07-20

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