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脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

张端明 关 丽 李智华 钟志成 侯思普 杨凤霞 郑克玉

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脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

张端明, 关 丽, 李智华, 钟志成, 侯思普, 杨凤霞, 郑克玉

Study on the evolvement of plasma generated by pulsed laser deposition of thin film

Zhang Duan-Ming, Guan Li, Li Zhi-Hua, Zhong Zhi-Cheng, Hou Si-Pu, Yang Feng-Xia, Zheng Ke-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-03-25
  • 修回日期:  2002-04-25
  • 刊出日期:  2005-04-03

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