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能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

李荣斌 戴永兵 胡晓君 沈荷生 何贤昶

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能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

李荣斌, 戴永兵, 胡晓君, 沈荷生, 何贤昶

A molecular dynamics study of energetic particle bombardment on diamond

Li Rong-Bin, Dai Yong-Bing, Hu Xiao-Jun, Shen He-Sheng, He Xian-Chang
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-07
  • 修回日期:  2003-05-19
  • 刊出日期:  2003-06-05

能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

  • 1. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50082005)资助的课题.

摘要: 利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:硼注入后产生温度为5000 K的热峰,其寿命为0.18 ps;同时产生半径为0.45 nm局部非晶化区域,三重配位原子数占该区域原子数的7%.薄膜表层原子向内弛豫,近表层原子向外弛豫,表面层与近表层原子的间距减少了15%,表面层表现为压应力.硼原子以B分裂间隙的形式存在于金刚石结构中.

English Abstract

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