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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

黄文忠 李英骏 谷渝秋 张 杰 尤永禄 淳于书泰 何颍玲 雷安乐 陈正林 马月英 金春水

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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

黄文忠, 李英骏, 谷渝秋, 张 杰, 尤永禄, 淳于书泰, 何颍玲, 雷安乐, 陈正林, 马月英, 金春水

The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror

Huang Wen-Zhong, Li Yin-Jun, Gu Yu-Qiu, Zhang Jie, You Yong-Lu, CunYu Shutai, He Ying-Ling, Lei An-Le, Chen Cheng-Lin, Ma Yue-Yin, Jin Chun-Sui
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-12-18
  • 修回日期:  2002-09-12
  • 刊出日期:  2003-02-05

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