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TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

张晨辉 雒建斌 李文治 陈大融

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TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

张晨辉, 雒建斌, 李文治, 陈大融

The study on the microstructure of TiN and Ti1-xSixNy coatings

Zhang Chen-Hui, Luo Jian-Bin, Li Wen-Zhi, Chen Da-Rong
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-14
  • 修回日期:  2003-05-30
  • 刊出日期:  2004-01-15

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