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氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

马丙现 姚 宁 杨仕娥 鲁占灵 樊志勤 张兵临

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氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

马丙现, 姚 宁, 杨仕娥, 鲁占灵, 樊志勤, 张兵临

Influence of hydrogen-enhanced etching on the quality of diamond films and the existing form of sp2 bonding carbon atoms

Ma Bing-Xian, Yao Ning, Yang Shi-E, Lu Zhan-Ling, Fan Zhi-Qin, Zhang Bing-Lin
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-22
  • 修回日期:  2003-12-16
  • 刊出日期:  2004-07-15

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