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帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

王洪昌 王占山 李佛生 秦树基 杜芸 王利 张众 陈玲燕

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帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

王洪昌, 王占山, 李佛生, 秦树基, 杜芸, 王利, 张众, 陈玲燕

Analysis of the reflective performance of EUV multilayer under the influence of capping layer

Wang Hong-Chang, Wang Zhan-Shan, Li Fo-Sheng, Qin Shu-Ji, Du Yun, Wang Li, Zhang Zhong, Chen Ling-Yan
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-06-27
  • 修回日期:  2003-11-30
  • 刊出日期:  2004-07-15

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