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离子束增强沉积VO2多晶薄膜的温度系数

李金华 袁宁一

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离子束增强沉积VO2多晶薄膜的温度系数

李金华, 袁宁一

Temperature coefficient of resistance of VO2 polycrystalline film formed by ion beam enhanced deposition

Li Jin-Hua, Yuan Ning-Yi
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-11-05
  • 修回日期:  2004-04-15
  • 刊出日期:  2004-04-05

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