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白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能

陈奶波 吴惠桢 邱东江

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白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能

陈奶波, 吴惠桢, 邱东江

Structural and optical studies of MgxZn1-xO films grown on sapphire

Chen Nai-Bo, Wu Hui-Zhen, Qiu Dong-Jiang
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-23
  • 修回日期:  2003-06-28
  • 刊出日期:  2004-01-15

白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能

  • 1. (1)浙江大学物理系,杭州 310028; (2)浙江大学物理系,杭州 310028;信息功能材料国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10174064)、上海应用材料研究与发展基金(批准号:AM-基金 No.0214)资助的课题.

摘要: 在白宝石(sapphire)衬底上低温外延生长出了MgxZn1-xO晶体薄膜.x射线衍射(XRD)及能量色散x射线(EDX)分析表明,MgxZn1-xO薄膜的晶体结构依赖于薄膜中Mg的组分x,随着Mg组分的增大,MgxZn1-xO薄膜的结构从与ZnO晶体一致的六方结构转变为与MgO晶体一致的立方结构.对MgxZn1-xO薄膜的紫外透

English Abstract

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