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CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性

黄 松 宁兆元 辛 煜 甘肇强

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CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性

黄 松, 宁兆元, 辛 煜, 甘肇强

Characteristics of two-electron-temperature in inductively coupled CF4 plasmas

Huang Song, Ning Zhao-Yuan, Xin Yu, Gan Zhao-Qiang
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-28
  • 修回日期:  2004-01-16
  • 刊出日期:  2004-05-05

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