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多晶硅薄膜低温生长中晶粒大小的控制

黄 锐 林璇英 余云鹏 林揆训 姚若河 黄文勇 魏俊红 王照奎 余楚迎

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多晶硅薄膜低温生长中晶粒大小的控制

黄 锐, 林璇英, 余云鹏, 林揆训, 姚若河, 黄文勇, 魏俊红, 王照奎, 余楚迎

Control of grain size during low-temperature growth of polycrystalline silicon films

Huang Rui, Lin Xuan-Ying, Yu Yun-Peng, Lin Kui-Xun, Yao Ruo-He, Huang Wen-Yong, Wei Jun-Hong, Wang Zhao-Kui, Yu Chu-Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-01-15
  • 修回日期:  2004-03-23
  • 刊出日期:  2004-11-16

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