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利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

王 淼 李振华 竹川仁士 齐藤弥八

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利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

王 淼, 李振华, 竹川仁士, 齐藤弥八

Study on the definite direction growth of carbon nanotubes by the microwave plasma-enhanced chemical vapro phase deposition

Wang Miao, Li Zhen-Hua, Takegawa Hitosi, Saito Yahachi
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-01
  • 修回日期:  2003-06-11
  • 刊出日期:  2004-03-15

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