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使用发射光谱对感应耦合CF4/CH4等离子体中C2基团形成机理的研究

黄 松 辛 煜 宁兆元

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使用发射光谱对感应耦合CF4/CH4等离子体中C2基团形成机理的研究

黄 松, 辛 煜, 宁兆元

Studies on C22 radical by optical emission spectroscopy in an induc tively-coupled CF44/CH44 plasma

Huang Song, Xin Yu, NingZhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-11
  • 修回日期:  2004-12-02
  • 刊出日期:  2005-02-05

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