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TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应

魏 仑 梅芳华 邵 楠 李戈扬 李建国

引用本文:
Citation:

TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应

魏 仑, 梅芳华, 邵 楠, 李戈扬, 李建国

Study on the growth and superhardness of TiN/SiO22 nanomultilayers

Wei Lun, Mei Fang-Hua, Shao Nan, Li Ge-Yang, Li Jian-Guo
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-02
  • 修回日期:  2004-08-31
  • 刊出日期:  2005-02-05

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