搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

射频溅射功率对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

王文静 萧淑琴 刘宜华 陈卫平 代由勇 姜 山 袁慧敏 颜世申

引用本文:
Citation:

射频溅射功率对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

王文静, 萧淑琴, 刘宜华, 陈卫平, 代由勇, 姜 山, 袁慧敏, 颜世申

The influence of sputtering power on the giantmagneto-impedance of FeZrBCu film s

Wang Wen-Jing, Xiao Shu-Qin, Liu Yi-Hua, Chen Wei-Ping, Dai You-Yong, Jiang Shan, Yuan Hui-Min, Yan Shi-Shen
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  5677
  • PDF下载量:  1022
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2004-01-31
  • 修回日期:  2004-08-30
  • 刊出日期:  2005-02-05

射频溅射功率对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

  • 1. (1)山东大学物理与微电子学院,济南 250100; (2)山东大学物理与微电子学院,济南 250100;山东大学晶体材料国家重点实验室,济南 250100; (3)山东大学物理与微电子学院,济南 250100;浙江台州学院物理系,临海 317000
    基金项目: 山东省优秀中青年科学家科研奖励基金和山东大学青年基金资助的课题.

摘要: 用射频溅射法制备了FeZrBCu软磁合金薄膜.研究了不同溅射功率对FeZrBCu薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应的影响.用电子探针显微镜测量发现,当溅射功率为240W时,薄膜样品中Fe的原子含量为8732%,Cu的原子含量为29%.这种样品的矫顽力最小,为68A/m,饱和磁化强度约为111×1055A/m,软磁性能最佳,巨磁阻抗效应最大,溅态膜在 13MHz最大巨磁阻抗比纵向为17%,横向为11%.重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有 效磁导率随频率的变化,得到在低频下主要是磁电感

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回