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甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究

张晓丹 赵 颖 高艳涛 朱 锋 魏长春 孙 建 王 岩 耿新华 熊绍珍

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甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究

张晓丹, 赵 颖, 高艳涛, 朱 锋, 魏长春, 孙 建, 王 岩, 耿新华, 熊绍珍

Study of microcrystalline silicon solar cells fabricated by very high frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition

Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Gao Yan-Tao, Zhu Feng, Wei Chang-Chun, Sun Jian, Wang Yan, Geng Xin-Hua, Xiong Shao-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-15
  • 修回日期:  2004-12-15
  • 刊出日期:  2005-02-05

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