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利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构

周炳卿 刘丰珍 朱美芳 谷锦华 周玉琴 刘金龙 董宝中 李国华 丁 琨

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利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构

周炳卿, 刘丰珍, 朱美芳, 谷锦华, 周玉琴, 刘金龙, 董宝中, 李国华, 丁 琨

The microstructure of hydrogenated microcrystalline silicon thin films studied by small-angle x-ray scattering

Zhou Bing-Qing, Liu Feng-Zhen, Zhu Mei-Fang, Gu Jin-Hua, Zhou Yu-Qin, Liu Jin-Long, Dong Bao-Zhong, Li Guo-Hua, Ding Kun
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-08-10
  • 修回日期:  2004-09-16
  • 刊出日期:  2005-05-10

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