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PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

陈雷明 李培刚 符秀丽 张海英 李玲红 唐为华

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PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

陈雷明, 李培刚, 符秀丽, 张海英, 李玲红, 唐为华

Ordered nanostructures on La-Sr-Cu-O thin films deposited by pulsed electron beam technique

Chen Lei-Ming, Li Pei-Gang, Fu Xiu-Li, Zhang Hai-Ying, Li Ling-Hong, Tang Wei-Hua
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  • 采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La_Sr_Cu_O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La_Sr_Cu_O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的 失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La_Sr_Cu_O成核生长获得独立的纳米线.通过控制 这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.
    La_Sr_Cu_O thin films on Si(100) substrates have been grown by pulsed electron beam deposition technique.The thin films obtained have been characterized by x_ray diffraction (XRD),scanning electron microscope(SEM),energy dispersive x_ray analysis (EDX) and focusing ion beam (FIB) technology.Highly ordered surface nanostructure has been found.FIB technology has been used to characterize those nanostructures.The nanostructure was cut by FIB,and its cross section can be seen clearly also.The nanostructure was etched by FIB step by step,and the depth_resolved morphology was shown.It is suggested that those nanostructures could come from the thermal expansion and lattice mismatching between Si substrate and La_Sr_Cu_O thin film.If the growth of the nanostructure can be controlled,it could be used to form high_Tc junctions by directly growing.
    • 基金项目: 中国科学院百人计划资助项目,国家自然科学基金创新研究群体(批准号:60321001)资助的 课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-09-30
  • 修回日期:  2004-11-12
  • 刊出日期:  2005-03-05

PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

  • 1. (1)Department of Physics,University of Rhode Island,Kingston RI02881,USA; (2)浙江理工大学物理系,杭州 310018,中国; (3)浙江理工大学物理系,杭州 310018,中国;中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080,中国; (4)中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080,中国
    基金项目: 

    中国科学院百人计划资助项目,国家自然科学基金创新研究群体(批准号:60321001)资助的 课题.

摘要: 采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La_Sr_Cu_O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La_Sr_Cu_O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的 失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La_Sr_Cu_O成核生长获得独立的纳米线.通过控制 这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.

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