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LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响

孙贤开 林碧霞 朱俊杰 张 杨 傅竹西

引用本文:
Citation:

LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响

孙贤开, 林碧霞, 朱俊杰, 张 杨, 傅竹西

Studies on the strain and its effect on defects in heteroepitaxial ZnO films prepared by LP-OCVD method

Sun Xian-Kai, Lin Bi-Xia, Zhu Jun-Jie, Zhang Yang, Fu Zhu-Xi
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-09-22
  • 修回日期:  2004-11-13
  • 刊出日期:  2005-03-05

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