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MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响

张治国 刘天伟 徐 军 邓新禄 董 闯

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MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响

张治国, 刘天伟, 徐 军, 邓新禄, 董 闯

Zr-N films prepared by MW-ECR PE-UNB alanced magnetron sputtering: plasma diagnostics and structure evolution

Zhang Zhi-Guo, Liu Tian-Wei, Xu Jun, Deng Xin-Lu, Dong Chuang
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-21
  • 修回日期:  2004-11-15
  • 刊出日期:  2005-07-07

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