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金属诱导单一方向横向晶化薄膜晶体管以及栅控型轻掺杂漏极结构的研究

孟志国 吴春亚 李 娟 熊绍珍 郭海成 王 文

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金属诱导单一方向横向晶化薄膜晶体管以及栅控型轻掺杂漏极结构的研究

孟志国, 吴春亚, 李 娟, 熊绍珍, 郭海成, 王 文

Low-temperature metal-induced unilateral crystallized polycrystalline silicon thin-film transistor and gate-modulated lightly-doped drain structure

Meng Zhi-Guo, Wu Chun-Ya, Li Juan, Xiong Shao-Zhen, Kwok Hoi S., Man Wong
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-12-19
  • 修回日期:  2004-12-31
  • 刊出日期:  2005-07-07

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