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掺CH4的SiCOH低介电常数薄膜结构与介电性能研究

俞笑竹 王婷婷 叶 超 宁兆元

引用本文:
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掺CH4的SiCOH低介电常数薄膜结构与介电性能研究

俞笑竹, 王婷婷, 叶 超, 宁兆元

Effect of CH4-doping on configuration and dielectric properties of SiCOH low-k films

Yu Xiao-Zhu, Wang Ting-Ting, Ye Chao, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-03-18
  • 修回日期:  2005-04-14
  • 刊出日期:  2005-11-20

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