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使用SiNx原位淀积方法生长的GaN外延膜中的应力研究

秦 琦 于乃森 郭丽伟 汪 洋 朱学亮 陈 弘 周均铭

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使用SiNx原位淀积方法生长的GaN外延膜中的应力研究

秦 琦, 于乃森, 郭丽伟, 汪 洋, 朱学亮, 陈 弘, 周均铭

Residual stress in the GaN epitaxial film prepared by in situ SiNx deposition

Qin Qi, Yu Nai-Sen, Guo Li-Wei, Wang Yang, Zhu Xue-Liang, Chen Hong, Zhou Jun-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-05-05
  • 修回日期:  2005-05-08
  • 刊出日期:  2005-11-20

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