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表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性

张开骁 陈敦军 沈 波 陶亚奇 吴小山 徐 金 张 荣 郑有炓

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表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性

张开骁, 陈敦军, 沈 波, 陶亚奇, 吴小山, 徐 金, 张 荣, 郑有炓

The effects of passivation and temperature on the barrier strain of Al0.22Ga0.78N/GaN heterostructures

Zhang Kai-Xiao, Chen Dun-Jun, Shen Bo, Tao Ya-Qi, Wu Xiao-Shan, Xu Jin, Zhang Rong, Zheng You-Dou
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-17
  • 修回日期:  2005-08-26
  • 刊出日期:  2006-03-20

表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性

  • 1. (1)北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学宽禁带半导体研究中心,北 京 100871; (2)河海大学理学院,南京 210098;江苏省光电材料重点实验室,国家微结构重点实验室,南京大学物理系,南京 210093; (3)江苏省光电材料重点实验室,国家微结构重点实验室,南京大学物理系,南京 210093
    基金项目: 国家重点基础研究专项基金(批准号:G20000683),国家自然科学基金(批准号:60406002, 60325413,60136020),江苏省自然科学基金(批准号:BK2003411),国家高技术研究发展计 划(863)项目(批准号:2002AA305304)资助的课题.

摘要: 用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/ GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质 结,当测试温度高于523K时,Al0.22Ga0.78N势垒层开始出现应变 弛豫;钝化后,在Al0.22Ga0.78N势垒层中会产生一个附加的平面 拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应 变将减小,对100nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,应变只是轻微地减 小,但对于50nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,则出现了严重的应变 弛豫现象.

English Abstract

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