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电子束光刻的邻近效应及其模拟

孙 霞 尤四方 肖 沛 丁泽军

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电子束光刻的邻近效应及其模拟

孙 霞, 尤四方, 肖 沛, 丁泽军

Simulation of the proximity effect of electron beam lithography

Sun Xia, You Si-Fang, Xiao Pei, Ding Ze-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-12-14
  • 修回日期:  2005-03-08
  • 刊出日期:  2006-01-20

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