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Si—OH基团对SiCOH低k薄膜性能的影响与控制

叶 超 宁兆元 辛 煜 王婷婷 俞笑竹

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Si—OH基团对SiCOH低k薄膜性能的影响与控制

叶 超, 宁兆元, 辛 煜, 王婷婷, 俞笑竹

Influence of Si—OH groups on properties and avoidance for SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane electron cyclotron resonance plasma

Ye Chao, Ning Zhao-Yuan, Xin Yu, Wang Ting-Ting, Yu Xiao-Zhu
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-05-17
  • 修回日期:  2005-09-13
  • 刊出日期:  2006-05-20

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