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C-V法提取SiC隐埋沟道MOSFET沟道载流子浓度

郜锦侠 张义门 汤晓燕 张玉明

引用本文:
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C-V法提取SiC隐埋沟道MOSFET沟道载流子浓度

郜锦侠, 张义门, 汤晓燕, 张玉明

Extraction of channel carrier concentration using C-V method for SiC buried-channel MOSFET

Gao Jin-Xia, Zhang Yi-Men, Tang Xiao-Yan, Zhang Yu-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-09
  • 修回日期:  2005-12-13
  • 刊出日期:  2006-03-05

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