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利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分

延凤平 简水生 尾形健一 小池一步 佐佐诚彦 井上正崇 矢野满明

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利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分

延凤平, 简水生, 尾形健一, 小池一步, 佐佐诚彦, 井上正崇, 矢野满明

Measurement of Mg content in Zn1-xMgxO films by inductively coupled plasma method

Yan Feng-Ping, Jian Shui-Sheng, Ogata K., Koike K., Sasa S., Inoue M., Yano M.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-13
  • 修回日期:  2006-01-12
  • 刊出日期:  2006-03-05

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