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离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响

吴衍青 肖体乔

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离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响

吴衍青, 肖体乔

The effect of ion oscillation on the self-sustenance of low pressure electronegative discharge

Wu Yan-Qing, Xiao Ti-Qiao
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-11
  • 修回日期:  2005-12-04
  • 刊出日期:  2006-07-20

离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响

  • 1. 中国科学院上海应用物理研究所上海光源同步辐射实验部,上海 201800

摘要: 为了研究该离子振荡及其对低气压负电性放电自持条件的影响,建立了一个整体模型描述低气压正负离子等离子体中离子振荡与少量电子的相互作用. 在模型中引入参数r描述电子流体与电极碰撞后的动量保存(或损失)的程度. 发现体系存在一个临界值r=rc,它导致了两种不同性质的电子损失机理. 另一临界值r=4rc决定了两种不同的电子密度随时间增长的阈值. 这使得该阈值随r非单调变化, 进而导致RF负电性脉冲放电主动放电阶段初期的自持放电条件参数空间中可以存在间隙. PIC-MCC

English Abstract

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