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磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数

孙喜莲 洪瑞金 齐红基 范正修 邵建达

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磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数

孙喜莲, 洪瑞金, 齐红基, 范正修, 邵建达

Microstructure and optical constants of sputtered Ag films of different thickness

Sun Xi-Lian, Hong Rui-Jin, Qi Hong-Ji, Fan Zheng-Xiu, Shao Jian-Da
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-02
  • 修回日期:  2006-02-19
  • 刊出日期:  2006-09-20

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