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沉积工艺条件对金刚石薄膜红外椭偏光学性质的影响

苏青峰 刘健敏 王林军 史伟民 夏义本

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沉积工艺条件对金刚石薄膜红外椭偏光学性质的影响

苏青峰, 刘健敏, 王林军, 史伟民, 夏义本

Effects of deposition conditions on infrared spectroscopic ellipsometry of CVD diamond films

Su Qing-Feng, Liu Jian-Min, Wang Lin-Jun, Shi Wei-Min, Xia Yi-Ben
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-25
  • 修回日期:  2005-12-13
  • 刊出日期:  2006-05-05

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