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界面和择优取向对TiN/ZrN纳米多层膜硬度变化的影响

徐晓明 王 娟 赵 阳 张庆瑜

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界面和择优取向对TiN/ZrN纳米多层膜硬度变化的影响

徐晓明, 王 娟, 赵 阳, 张庆瑜

Effect of interface and preferred orientation on the hardness of TiN/ZrN multilayers

Xu Xiao-Ming, Wang Juan, Zhao Yang, Zhang Qing-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-01-19
  • 修回日期:  2006-03-09
  • 刊出日期:  2006-05-05

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