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用射频溅射法制备立方氮化硼薄膜

田 凌 丁 毅 陈 浩 刘钧锴 邓金祥 贺德衍 陈光华

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用射频溅射法制备立方氮化硼薄膜

田 凌, 丁 毅, 陈 浩, 刘钧锴, 邓金祥, 贺德衍, 陈光华

Preparation of cubic boron nitride films by radio frequency sputtering

Tian Ling, Ding Yi, Chen Hao, Liu Jun-Kai, Deng Jin-Xiang, He De-Yan, Chen Guang-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-24
  • 修回日期:  2006-03-15
  • 刊出日期:  2006-05-05

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