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一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源

裘 亮 孟月东 任兆杏 钟少锋

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一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源

裘 亮, 孟月东, 任兆杏, 钟少锋

A new atmospheric RF cold plasma source with microhollow cathode structure

Qiu Liang, Meng Yue-Dong, Ren Zhao-Xing, Zhong Shao-Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-17
  • 修回日期:  2006-01-13
  • 刊出日期:  2006-11-20

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