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氮化硅介质中双层纳米硅薄膜的两级电荷存储

王久敏 陈坤基 宋 捷 余林蔚 吴良才 李 伟 黄信凡

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氮化硅介质中双层纳米硅薄膜的两级电荷存储

王久敏, 陈坤基, 宋 捷, 余林蔚, 吴良才, 李 伟, 黄信凡

Double-level charge storage in self-aligned doubly-stacked Si nanocrystals in SiNx dielectric

Wang Jiu-Min, Chen Kun-Ji, Song Jie, Yu Lin-Wei, Wu Liang-Cai, Li Wei, Huang Xin-Fan
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-04-21
  • 修回日期:  2006-05-15
  • 刊出日期:  2006-11-20

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