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大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究

赵淑云 吴春亚 刘召军 李学冬 王 中 孟志国 熊绍珍 张 芳

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大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究

赵淑云, 吴春亚, 刘召军, 李学冬, 王 中, 孟志国, 熊绍珍, 张 芳

Study on the large grain size poly-Si prepared by metal induced crystallization using nickel chemical source

Zhao Shu-Yun, Wu Chun-Ya, Liu Zhao-Jun, Li Xue-Dong, Wang Zhong, Meng Zhi-Guo, Xiong Shao-Zhen, Zhang Fang
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-14
  • 修回日期:  2006-04-25
  • 刊出日期:  2006-11-20

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