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干法刻蚀影响应变量子阱发光的机理研究

曹 萌 吴惠桢 刘 成 劳燕锋 黄占超 谢正生 张 军 江 山

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干法刻蚀影响应变量子阱发光的机理研究

曹 萌, 吴惠桢, 刘 成, 劳燕锋, 黄占超, 谢正生, 张 军, 江 山

Effect of dry etching on light emission of InAsP/InP SMQWs

Cao Meng, Wu Hui-Zhen, Liu Cheng, Lao Yan-Feng, Huang Zhan-Chao, Xie Zheng-Sheng, Zhang Jun, Jiang Shan
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-05-04
  • 修回日期:  2006-06-29
  • 刊出日期:  2007-01-05

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