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反应溅射VN/SiO2纳米多层膜的微结构与力学性能

岳建岭 孔 明 赵文济 李戈扬

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反应溅射VN/SiO2纳米多层膜的微结构与力学性能

岳建岭, 孔 明, 赵文济, 李戈扬

Microstructure and mechanical properties of VN/SiO2 nanomultilayers synthesized by reactive sputtering

Yue Jian-Ling, Kong Ming, Zhao Wen-Ji, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-03-14
  • 修回日期:  2006-08-11
  • 刊出日期:  2007-07-11

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