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SiO2的赝晶化及AlN/SiO2纳米多层膜的超硬效应

赵文济 孔 明 黄碧龙 李戈扬

引用本文:
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SiO2的赝晶化及AlN/SiO2纳米多层膜的超硬效应

赵文济, 孔 明, 黄碧龙, 李戈扬

Effect of SiO2 crystallization on AlN/SiO2 nano-multilayers with superhardness effect

Zhao Wen-Ji, Kong Ming, Huang Bi-Long, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-07-21
  • 修回日期:  2006-08-10
  • 刊出日期:  2007-07-11

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