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含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅱ)射频功率对薄膜光学带隙的影响

肖剑荣 徐 慧 郭爱敏 王焕友

引用本文:
Citation:

含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅱ)射频功率对薄膜光学带隙的影响

肖剑荣, 徐 慧, 郭爱敏, 王焕友

Study on FN-DLC thin films: (Ⅱ) effect of radio frequency power on the optical band gap of the thin films

Xiao Jian-Rong, Xu Hui, Guo Ai-Min, Wang Huan-You
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-07-28
  • 修回日期:  2006-08-29
  • 刊出日期:  2007-03-20

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