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Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法

谷建峰 刘志文 刘 明 付伟佳 马春雨 张庆瑜

引用本文:
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Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法

谷建峰, 刘志文, 刘 明, 付伟佳, 马春雨, 张庆瑜

Two-step growth of ZnO films deposited by reactive radio-frequency magnetron sputtering on Si(001) substrate

Gu Jian-Feng, Liu Zhi-Wen, Liu Ming, Fu Wei-Jia, Ma Chun-Yu, Zhang Qing-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-09
  • 修回日期:  2006-10-31
  • 刊出日期:  2007-02-05

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