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微晶硅薄膜的表面粗糙度及其生长机制的X射线掠角反射研究

周炳卿 刘丰珍 朱美芳 周玉琴 吴忠华 陈 兴

引用本文:
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微晶硅薄膜的表面粗糙度及其生长机制的X射线掠角反射研究

周炳卿, 刘丰珍, 朱美芳, 周玉琴, 吴忠华, 陈 兴

Studies on surface roughness and growth mechanisms of microcrystalline silicon films by grazing incidence X-ray reflectivity

Zhou Bing-Qing, Liu Feng-Zhen, Zhu Mei-Fang, Zhou Yu-Qin, Wu Zhong-Hua, Chen Xing
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-25
  • 修回日期:  2006-10-31
  • 刊出日期:  2007-02-05

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