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含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响

肖剑荣 徐 慧 王焕友 邓超生 李明君

引用本文:
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含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响

肖剑荣, 徐 慧, 王焕友, 邓超生, 李明君

Study on FN-DLC thin films: (Ⅳ) effect of nitrogen doping on structural properties of films

Xiao Jian-Rong, Xu Hui, Wang Huan-You, Deng Chao-Sheng, Li Ming-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-09-22
  • 修回日期:  2006-10-10
  • 刊出日期:  2007-05-20

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