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立方氮化硼薄膜沉积过程的相变研究

陈 浩 邓金祥 刘钧锴 周 涛 张 岩 陈光华

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立方氮化硼薄膜沉积过程的相变研究

陈 浩, 邓金祥, 刘钧锴, 周 涛, 张 岩, 陈光华

Phase transformation in process of deposition of cubic boron nitride thin films

Chen Hao, Deng Jin-Xiang, Liu Jun-Kai, Zhou Tao, Zhang Yan, Chen Guang-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-07-07
  • 修回日期:  2007-01-24
  • 刊出日期:  2007-03-05

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